吸附平台技术参数：Vacuum Table Technical Data 单位：mm 平台规格 平台厚度 面板孔径 面板孔距 吸气面积 工作温度 平台材质 1300*2741 42.5 1.5 20 1240*2540 <50℃ 合金铝 表面硬度 平整度 平行度 面板厚度 底板厚度 吸气口径 接口方式 HV500-600 <0.35 <0.50 2.0 2.0 4*6-50 法兰 吸附平台挠度值测试：Vacuum Table Deflection test 平台长度 测试点 支点 加力度 挠度 2741 平台中心点 1370 300N 0.1